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含氟電子氣體是電子工業(yè)的血液和糧食

發(fā)布時(shí)間:2020-05-29 | 游覽:3456

內(nèi)容摘要:電子化學(xué)品,是指為電子工業(yè)配套的專用化學(xué)品,其質(zhì)量好壞將直接影響到電子器件的優(yōu)劣,素有"一代材料、一代產(chǎn)品"之說。

電子化學(xué)品,是指為電子工業(yè)配套的專用化學(xué)品,其質(zhì)量好壞將直接影響到電子器件的優(yōu)劣,素有"一代材料、一代產(chǎn)品"之說。

目前,含氟電子化學(xué)品已成為眾多電子化學(xué)品中的重要一員,由于氟原子有極強(qiáng)的反應(yīng)活性和較大的電負(fù)性,用氟原子和含氟基團(tuán)代替電子化學(xué)品上的其他基團(tuán),能夠顯著提高電子化學(xué)品的性能,主要應(yīng)用于平板顯示、光伏新能源和集成電路等半導(dǎo)體電子產(chǎn)業(yè)。

電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支,是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、太陽能電池,光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料,廣泛應(yīng)用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等半導(dǎo)體工藝。

含氟電子氣體是電子氣體領(lǐng)域的高端產(chǎn)品,主要涉及表2中的氟化物系列、含氟的硅化物、含氟的硼化物等電子氣體,在半導(dǎo)體制造過程中扮演著重要的角色,主要用作清洗劑、蝕刻劑、摻雜劑及成膜材料等,約占電子氣體市場(chǎng)的30%。


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